Caracterización del dañado eléctrico residual tras procesos de implantación iónica y RTA en Silicio y Fosfuro de Indio
Autor principal: | |
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Formato: | Tesis |
Idioma: | Castellano |
Publicado: |
Valladolid :
Secretariado de Publicaciones e Intercambio Científico, Universidad
1999
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Colección: | Tesis doctorales / Universidad de Valladolid
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Materias: | |
Ver en Universidad de Navarra: | https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991007244139708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es |
Notas: | En port. : Facultad de Ciencias. Departamento de Electricidad y Electrónica |
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Descripción Física: | 3 microfichas : negativo ; 11x15 cm + 1 carpetilla ( 6 p.) |
ISBN: | 9788477629351 |