Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication Vol.: 1 Microlitthography Vol.: 1 Microlitthography /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Londres :
Institution of Electrical Engineers
1997
|
| Edición: | 1a ed |
| Colección: | IEE Materials and Devices serie 12
|
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991002343299708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es |
| Descripción Física: | 768 p. 26 cm |
|---|---|
| ISBN: | 9780852969069 |
