Optical Inspection of Microsystems

Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Osten, Wolfgang (-)
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis 2007.
Colección:Optical Science and Engineering ; 109
Materias:
Ver en Universidad de Navarra:https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991002209259708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es
Descripción
Descripción Física:503 p. : il., fot. bl. y n. ; 26 cm
Bibliografía:Contiene referencias bibliográficas e índices.
ISBN:9780849336829