X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Bowen, D. Keith (-)
Otros Autores:	Tanner, Brian K.
Formato:	Libro
Publicado:	Boca Raton : CRC-Taylor & Francis 2006.
Materias:	Materiales > Técnicas de observación y análisis
Ver en Universidad de Navarra:	https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991002207399708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es

Descripción
Descripción Física:	279 p. : il. ; 25 cm
Bibliografía:	Contiene referencias bibliográficas e índices.
ISBN:	9780849339288

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