Field guide to optical lithography
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Washington. USA. :
SPIE Press
2006.
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| Colección: | SPIE field guides ;
FG06 |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991001873269708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es |
| Descripción Física: | 122 p. ; 21 cm |
|---|---|
| ISBN: | 9780819462077 |
