Transmission electron microscopy of silicon vlsi circuits and structures

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Marcus, R.B (-)
Otros Autores:	Sheng, T.T
Formato:	Libro
Idioma:	Inglés
Publicado:	New York : Wiley Interscience Journals 1983
Edición:	1a ed
Materias:	Materiales > Técnicas de observación y análisis
Ver en Universidad de Navarra:	https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991001519929708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es

Descripción
Descripción Física:	217 p.
ISBN:	9780471092513

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