Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | eArticle |
| Language: | Castellano |
| Published: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima]
[2009]
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| Subjects: | |
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