Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición : Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals

Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo: e-libro, Corp (-)
Otros Autores: Rojas Martínez, Y. (-)
Formato: Artículo digital
Idioma:Castellano
Publicado: [Tolima] : [Universidad Del Tolima] [2009]
Materias:
Física.
Physics.
Fisica
Artículos electrónicos.
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Descripción
Publicado:Vol. 1, num. 4 (2009)-
Descripción Física:13-18 p.
Frecuencia de Publicación:Anual
ISSN:19094841

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