Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
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| Format: | eArticle |
| Language: | Castellano |
| Published: |
[Monterrey, N.L.] :
Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica
2008.
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| Subjects: | |
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| Published: | Vol. XI, Num. 3 (Julio-Sep. 2008)- |
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| Physical Description: | 264-271 p. |
| Publication Frequency: | Trimestral |
| ISSN: | 14059177 |
