Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

Detalles Bibliográficos
Autor principal: García Méndez, Manuel, aut (Autor)
Autor Corporativo: e-libro, Corp (-)
Formato: Artículo digital
Idioma:Castellano
Publicado: [Monterrey, N.L.] : Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica 2008.
Materias:
Acceso en línea:https://recursos.uloyola.es/login?url=https://accedys.uloyola.es:8443/accedix0/sitios/ebook.php?id=19576
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Descripción
Publicado:Vol. XI, Num. 3 (Julio-Sep. 2008)-
Descripción Física:264-271 p.
Frecuencia de Publicación:Trimestral
ISSN:14059177