Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
| Main Author: | |
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| Corporate Author: | |
| Format: | eArticle |
| Language: | Castellano |
| Published: |
[Monterrey, N.L.] :
Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica
2008.
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| Subjects: | |
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