Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Kaariainen, Tommi (-)
Formato:	Libro electrónico
Idioma:	Inglés
Publicado:	Hoboken, NJ : John Wiley & Sons c2013.
Edición:	2nd ed
Materias:	Chemical vapor deposition. Epitaxy. Microelectronics. Nanotechnology. Electronic books.
Acceso en línea:	https://recursos.uloyola.es/login?url=https://accedys.uloyola.es:8443/accedix0/sitios/ebook.php?id=179453
Ver en Universidad Loyola - Universidad Loyola Granada:	https://colectivo.uloyola.es/Record/ELB179453

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Descripción
Descripción Física:	xv, 253 p. : ill
Bibliografía:	Includes bibliographical references and index.
ISBN:	9781118747421

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