Mechanical microsensors

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Elwenspoek, M. 1948- (-)
Otros Autores: Wiegerink, Remco J., 1964-
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Berlin [etc.] : Springer 2000.
Colección:Microtechnology and MEMS
Materias:
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Descripción
Descripción Física:X, 295 p. : gráf. ; 24 cm
Bibliografía:Bibliogr.: p. [274]-290
ISBN:9783540675822