Dispersión asistida por magnetrón en películas de TíN
| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | , |
| Formato: | Libro electrónico |
| Idioma: | Castellano |
| Publicado: |
Santiago de Chile :
Red Revista de Facultad de Ingeniería
2006.
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| Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991009854377706719 |
Tabla de Contenidos:
- DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TIN
- RESUMEN
- INTRODUCCIÓN
- EXPERIMENTACIÓN
- Depositación del recubrimiento
- Análisis de dureza
- Análisis de color
- RESULTADOS Y DISCUSIÓN
- Análisis de color
- Cinética de gases
- Análisis de dureza
- Caracterización
- CONCLUSIONES
- AGRADECIMIENTOS
- REFERENCIAS.
