Dispersión asistida por magnetrón en películas de TíN
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros Autores: | , |
| Formato: | Libro electrónico |
| Idioma: | Castellano |
| Publicado: |
Santiago de Chile :
Red Revista de Facultad de Ingeniería
2006.
|
| Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991009854377706719 |
| Descripción Física: | 1 online resource (10 pages) |
|---|
