Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
| Formato: | Libro electrónico |
|---|---|
| Idioma: | Castellano |
| Publicado: |
D - Universidad Autónoma de Nuevo León
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| Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991009853993606719 |
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