MyFEMOS Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und...
| Otros Autores: | |
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| Formato: | Libro electrónico |
| Idioma: | Alemán |
| Publicado: |
Karlsruhe :
KIT Scientific Publishing
2006.
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| Colección: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik, Universität Karlsruhe (TH) ;
Band 10 |
| Materias: | |
| Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991009745246406719 |
| Sumario: | Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. |
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| Descripción Física: | 1 online resource (110 pages) : illustrations |
