Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication

Detalles Bibliográficos
Autores Corporativos:	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (-), Institution of Electrical Engineers
Otros Autores:	Rai-Choudhury, P. (-)
Formato:	Libro
Idioma:	Inglés
Publicado:	Bellingham, Wash. : London : SPIE Optical Engineering Press ; Institution of Electrical Engineers cop. 1997
Colección:	IEE materials and devices series ; 12A, 12B
Materias:	Microlitografia
Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull:	https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991006887419706719

Descripción
Descripción Física:	2 v.; 26 cm
ISBN:	9780819423788 9780819423795

Ejemplares similares