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  1. 1
    An introduction to microelectromechanical systems engineering
    por Maluf, Nadim
    Publicado 2000
    “…Microelectromechanical systems series…”
    Libro
  2. 2
    Fundamentals and applications of microfluidics
    por Nguyễn, Nam Trung
    Publicado 2002
    “…Microelectromechanical systems series…”
    Libro
  3. 3
    RF MEMS Circuit Design for Wireless Communications
    por Santos, Héctor J. de los
    Publicado 2002
    “…Microelectromechanical systems series…”
    Libro

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