The physics of microfabrication
| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
Plenum Publishing Corporation
1982
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| Edición: | 1a ed |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://unika.unav.edu/discovery/fulldisplay?docid=alma991001467719708016&context=L&vid=34UNAV_INST:VU1&search_scope=34UNAV_TODO&tab=34UNAV_TODO&lang=es |
