Fundamentals of microfabrication the science of miniaturization

Bibliographic Details
Main Author:	Madou, Marc J. (-)
Format:	Book
Language:	Inglés
Published:	Boca Raton [etc.] : CRC Press cop. 2002
Edition:	2nd ed
Subjects:	Microfabricació Microelectrònica Disseny de circuits electrònics Sistemes microelectromecànics Làsers en enginyeria Circuits integrats > Projectes i construcció Encapsulat microelectrònic Làsers > Aplicacions industrials Mecanismes > Disseny i construcció
See on Biblioteca Universitat Ramon Llull:	https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991006887489706719

Description
Physical Description:	723 p., [16] p. de làm. : il., gràfics; 29 cm
Bibliography:	Referències bibliogràfiques. Índex
ISBN:	9780849308260

Similar Items