Fundamentals of microfabrication the science of miniaturization
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Boca Raton [etc.] :
CRC Press
cop. 2002
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| Edición: | 2nd ed |
| Materias: | |
| Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991006887489706719 |
