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  1. 1
    Microsystem Technology
    por Menz, W.
    Publicado 2001
    Otros Autores: “…Menz, W.…”
    Libro
  2. 2
    Micro mechanical systems. Principles and technology. Handbook of sensors and
    por Fukuda, T.
    Publicado 1998
    Otros Autores:
    Libro
  3. 3
    4M2005 : First International Conference on Multi-Material Micro Manufacture : 29 June-1July,2005, Forschungszentrum Karlsruhe, Germany
    Publicado 2005
    Otros Autores: “…Menz, W.…”
    Libro
  4. 4
    First Interantional Conference on Multi-Material Micro Manufacture : 29 June- 1 July 2005, Forschungszentrum Karlsruhe,Karlsruhe, Germany
    Publicado 2005
    Otros Autores: “…Menz, W.…”
    Libro

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